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SpotLight-P 微焦點X射線光源

公司介紹艾格斯瑞(成都)儀器設備有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模擬體系為基礎,立足于研發(fā)、設計、制造X射線核心器件及部件,致力于為工業(yè)及科研客戶提供高效、可靠、先進的成套解決方案。主要產品包括微焦點X射線光源、X射線核心器件、X射線探測器、X射線仿真模擬軟件,廣泛應用于多種材料分析表征和基礎研究場景,如新能源材料及器件表征、半導體制程檢測、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研發(fā)、等離子體診

  • 產地: 中國
  • 型號: SpotLight-P
  • 品牌: 艾格斯瑞

公司介紹

艾格斯瑞(成都)儀器設備有限公司成立于2020年。艾格斯瑞以仿真模擬體系為基礎,專注于研發(fā)、設計、制造X射線核心器件及部件,致力于為工業(yè)及科研客戶提供高效、可靠、先進的成套解決方案。

主要產品包括微焦點X射線光源、X射線核心器件、X射線探測器、X射線仿真模擬軟件,廣泛應用于多種材料分析表征和基礎研究場景,如新能源材料及器件表征、半導體制程檢測、材料及芯片器件逆向工程、前沿材料研發(fā)、等離子體診斷等。

產品介紹

SpotLight-P 多毛細管微焦點X射線光源結合了低功率x射線源和多毛細管X光透鏡,可提供高通量的X射線光束,廣泛應用于先進的材料分析。SpotLight-P 可提供幾種標準聚焦、微聚焦或準直光束配置,也可以針對特定應用進行定制。

特征優(yōu)勢

? 高性能光學整形組件:可輸出高品質X射線光束

? 聚焦輸出:最小可達8μm的輸出焦點尺寸

? 準直輸出:低至0.2°的輸出發(fā)散角

? 靈活的輸出光束選項:聚焦、準直、微聚焦三類選擇

? X射線管耦合多毛細管可產生兼具高亮度和小焦點尺寸的線束

? 水冷散熱,提高光管的安全性

? 內置X射線管的自動暖機/訓機程序

? 內置目標功率的自動緩升緩降曲線

? 內置自動化安全關機功能

? 內置自檢程序,確保設備的可靠性和操作的安全性

? 內置提高可靠性的故障報警和安全回路

規(guī)格參數(shù)

 SpotLight-P光管通用參數(shù)

項目

指標

最高管電壓

≤50KV

最高管電流

≤1mA

可選靶材

Cu/Mo/Rh/Ag/W(其它靶材可討論定制)

冷卻方式

風冷+水冷

光管尺寸(含毛細管調節(jié)裝置)

     261mmx 186mmx 110mm

重量(含毛細管和調節(jié)裝置)

10kg

聚焦型光源典型參數(shù)

工作距離(mm)

10

60

100

150

200

 

 

Cu靶

聚焦光斑尺寸

(μm, FWHM, Cu-Kα)

50

250

 

300

450

500

輸出通量*

(Cu-Kα, phs/s)

>1.1E9

>5.4E9

>8.4E9

5.3E9

6.9E9

 

 

Mo靶

聚焦光斑尺寸

(μm, FWHM, Mo-Kα)

30

110

 215

350

420

輸出通量*

(Mo-Kα, phs/s)

>2.7E7

>6.7E7

>6.8E7

>7.6E7

>8.3E7

 

 

Ag靶

聚焦光斑尺寸

(μm, FWHM, Ag-Kα)

35

125

195

300

360

輸出通量*

(Ag-Kα, phs/s)

>1.2E7

>3E7

>5E7

>4.9E7

>5E7

 

 

W靶

聚焦光斑尺寸

(μm, FWHM, W-Lα)

55

205

290

390

450

輸出通量*

(W-Lα, phs/s)

>7E8

>3E9

>4.8E9

>5.4E9

>6E9

準直型光源典型參數(shù)

靶材

輸出光束直徑

(mm)

4mm

6mm

10mm

Cu靶

輸出通量*

(Cu-Kα, phs/s)

>2.3E9

>4.8E9

>8.5E9

Mo靶

輸出通量*

(Mo-Kα, phs/s)

>6.6E6

>4.7E7

>6.2E7

Ag靶

輸出通量*

(Ag-Kα, phs/s)

>2.8E7

>6E7

>1E8

W靶

輸出通量*

(W-Lα, phs/s)

>1.8E9

>5E9

>8.3E9

典型應用

  • 掠入射小角散射(GISAXS)

  • 單晶/粉末X射線衍射、勞埃衍射(SC-XRD、XRPD、Laue Diffraction)

  • (二維、三維、共聚焦)微區(qū)X射線熒光(μ-XRF)

  • X射線激發(fā)發(fā)光(XEOL)

半導體解決方案應用場景

  • 薄膜堆棧的金屬層結構測量

  • UBM/RDL層厚和組分監(jiān)測

  • 埃米水平的超薄層測量

  • Bump球的高度測量

  • 基于TXRF的硅晶圓表面沾污測量

  • 基于XRR的膜厚測量

  • 外延材料晶格結構及膜厚分析

  • 芯片和電路板失效分析

  • 芯片和電路板制程監(jiān)控

原位透射衍射案例

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司北京眾星聯(lián)恒科技有限公司北京眾星聯(lián)恒科技有限公司

LiFePO4正極鋰電池充放電過程中的

原位衍射(測量時長:300分鐘)

NbS2正極鈉電池充放電過程中的

原位衍射(測量時長:500分鐘)

NaVO正極鋅電池充放電過程中的

原位衍射(測量時長:460分鐘)


資料/下載

北京眾星聯(lián)恒科技有限公司SpotLight-P_datasheet_艾格斯瑞__CN_250612.pdf

精準解析電池材料與器件性能的先進表征工具- SpotLight-P多毛細管微焦點X射線光源


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