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您需要為您的EUV/SXR光路定制高精度反射鏡嗎？
點(diǎn)擊藍(lán)字關(guān)注我們引 言極紫外( Extreme Ultraviolet) 是處于真空紫外與軟 X 射線之間，波長(zhǎng)在幾納米至幾十納米的一個(gè)特殊波段，詳見(jiàn)下圖1。圖1. 由紅外線至硬x射線范圍的電磁波譜由于在極紫外波段存在著大量的原子共振線，因此對(duì)于所有的固體，液體及氣體都會(huì)對(duì)極紫外光有較強(qiáng)的吸收。入射光會(huì)在很短的距離被吸收，典型的吸收長(zhǎng)度為百納量級(jí)（100nm@水），所以無(wú)法制作像針對(duì)可見(jiàn)光一樣的折
2025-05-13 unistar
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EUV多層膜元件的反射率表征：從微觀到宏觀的極致優(yōu)化
點(diǎn)擊藍(lán)字 關(guān)注我們WINTER多層膜反射率表征背景介紹EUV多層膜元件是EUV光學(xué)系統(tǒng)的核心光學(xué)元件，通過(guò)周期性膜層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以在特定波長(zhǎng)和入射角度條件下獲得盡可能高的反射率。如圖1是一片由德國(guó)optiX fab.制造的周期性Mo/Si多層膜反射鏡在5°入射角條件下的反射率測(cè)試結(jié)果，對(duì)中心13.5nm波長(zhǎng)的實(shí)測(cè)反射率可以達(dá)到65%以上，非常接近于理論光學(xué)極限。圖1. Mo/Si多層膜反射鏡在PTB
2025-04-07 unistar